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微纳加工与器件制造平台

热压印及紫外压印一体纳米压印设备(GD-N-023)

发布时间：2025-03-04    作者：    来源：    浏览次数：    打印


仪器型号：GD-N-023

生产厂家：苏州光舵微纳科技股份有限公司

技术参数：

（1）基片尺寸：6英寸及以下尺寸；有效压印面积：6英寸；

（2）加工图形尺寸：10nm-400nm；尺寸误差：±5%；加工深宽比：1~4；

（3）加热温度：300℃，温度均匀性：±1%；

（4）气压压力：30kgf/cm2；

（5）紫外光源：365nm LED光源，500mW/cm2 。

主要功能及特色：

用于微纳米尺度工艺，可实现热压印和紫外曝光压印，支持硬模板、软模板。

预约链接：

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3609.reserv

校内收费标准：

200元/小时。

联系人：

王老师 18692257791


 


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