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电子束蒸发仪(Kurt J Lesker PRO line PVD75)

发布时间：2025-03-04    作者：    来源：    浏览次数：    打印


仪器型号：PRO line PVD75

生产厂家：Kurt J Lesker company

技术参数：

（1）基片尺寸：6英寸；坩埚位置：6个，每个容量20cc；

（2）电子枪最高烘烤温度：150℃；

（3）极限真空压强：5*10-8Torr；

（4）薄膜均匀性：直径100nm硅片镀制100nm以上的薄膜，均匀性可达±3.5% ；

（5）薄膜重复性：同样镀膜工艺做三个样品，重复率偏差优于±3%。

主要功能及特色：

利用高能量电子束对蒸发物料进行电子轰击加热，使得蒸发材料达到沸点后挥发并沉积到样品表面，沉积成薄膜材料 ，可制备各种金属和非金属薄膜。

预约链接：

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3600.reserv

校内收费标准：

400元/小时；耗材按实际使用收费。

联系人：

马老师 18692257791  



 


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