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感应耦合等离子刻蚀机(SENTECH SI500 )

发布时间：2025-03-04    作者：    来源：    浏览次数：    打印


仪器型号：SI500

生产厂家：SENTECH

技术参数：

（1）样品尺寸为最大直径8英寸；

（2）上电极采用平板三螺旋天线的感应耦合等离子体源；

（3）电极ICP源射频发生器：频率13.56 MHz，功率<1200W；下电极偏置射频发生器：频率13.56 MHz，功率为600 W；

（4）八路工艺气体管路，包括Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、O2、Ar等工艺气体，并预留一路气体；

（5）采用激光终点检测装置，可实时检测刻蚀深度。

主要功能及特色：

具有高精度、高选择性刻蚀功能。利用射频激发等离子体，实现材料表面原子的去除，适用于多种材料的微观结构加工，实现纳米尺度的精细加工。

预约链接：

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3598.reserv

校内收费标准：

600元/小时。

联系人：

程老师 18692257791


 


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