仪器型号:JS10B
生产厂家:安徽泽攸科技有限公司

技术参数:
(1)台阶高度重复性≤0.5nm(1μm的标准台阶重复测量30次标准偏差);
(2)单次最大扫描长度≤55mm(不拼接);
(3)测试所允许的最大样品厚度≤10mm;
(4)测试垂直分辨率≤0.05nm(满量程);
(5)XY移动载物台,X≥150mm行程,Y≥150mm行程;样品台尺寸:≥150mm。
主要功能及特色:
主要用于测量物体表面高度差、平整度或台阶高度等参数。
预约链接:
http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3713.reserv
校内收费标准:
统一计算在超净间使用费中。
联系人:
马老师 18692257791