微纳加工与器件制造平台

台阶仪(泽攸科技JS10B)

发布时间:2025-03-04    作者:    来源:    浏览次数:    打印


仪器型号:JS10B

生产厂家:安徽泽攸科技有限公司

技术参数:

1)台阶高度重复性≤0.5nm1μm的标准台阶重复测量30次标准偏差);

2)单次最大扫描长度≤55mm(不拼接);

3)测试所允许的最大样品厚度≤10mm

4)测试垂直分辨率≤0.05nm(满量程);

5XY移动载物台,X≥150mm行程,Y≥150mm行程;样品台尺寸:≥150mm

主要功能及特色:

主要用于测量物体表面高度差、平整度或台阶高度等参数。

预约链接:

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3713.reserv

校内收费标准:

统一计算在超净间使用费中。

联系人:

马老师 18692257791


 





分享到:0