雷竞技官网微纳加工与器件制造平台是校级大型仪器设备公共平台，集微纳米图形制备、薄膜沉积、干法刻蚀、表征测试及封装键合为一体的高水平微纳加工实验室。微纳平台目前拥有18台通用设备，包含原位纳米机电加工系统、无掩膜光刻机、紫外光刻机、纳米压印、电子束蒸发仪、磁控溅射仪、感应耦合等离子刻蚀机、反应离子刻蚀机等。

微纳平台从2024年9月27日起对校内开放试运行。经过5个月的试运行，全部仪器设备功能正常、平稳运行。从2025年3月1日起对校内外开放运行，欢迎广大校内外师生预约使用！

为了更好地发挥高端大仪的作用、提高仪器的使用效率，微纳平台对本校师生进行培训（培训方法详见附件1，学生培训需填写附件2），经培训考核合格后的师生可自主独立操作仪器设备，并可预约非工作时段机时，收费为相应价格的7折。大型仪器独立操作需另外缴纳超净间使用费。

预约可测试时间段：

工作时间段：周一至周五 8:00-12:00，14:30-17:30（法定节假日除外）。

非工作时间段：周一至周五：12:00-14:30；17:30-22:00；周六周日：8:30-22:00；

为了安全起见，实验室要求非工作时间至少有两人同时在场且具有进入平台的权限。

预约请登录：雷竞技官网大型仪器设备共享网络服务平台http://equip.csu.edu.cn/；

设备地址：雷竞技官网微纳加工与器件制造平台（潇湘校区工训中心楼A1栋东面）。

微纳平台公共联系方式：18692257791。

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2025年2月25日